一种AFM设备及其变温装置、变温方法

摘要

本发明提供了一种用于AFM位移台的变温装置，包括：变温系统和样品座，所述变温系统包括：制冷系统；所述用于AFM位移台的变温装置还包括：导热件；所述制冷系统独立于所述样品座设置，且通过所述导热件相连。在本方案中，通过制冷系统独立于样品座的设置，并且采用导热件将制冷系统的冷量传递给样品座，既可实现了制冷系统的分体式工作，大大减轻了测试位移台的实际承重，而且也消除了冷却装置在给TEC部件散热时传递给待测样品的振动，同时也增大了制冷系统的安装空间。本发明还提供了一种应用上述的用于AFM位移台的变温装置的AFM设备，以及应用该AFM设备的变温方法。