相位移光罩缺陷补偿方法、装置及相位移光罩

摘要

本发明涉及一种相位移光罩缺陷补偿方法、装置及相位移光罩，方法包括：根据提供的相位移光罩，获取相位移光罩的参数；根据相位移光罩的参数建立检测模型；通过检测模型结合照明条件以及晶圆的光刻胶性质，计算出相位移光罩中的相位移垫层图案上的缺陷区域；缺陷区域为相位移光罩曝光时导致晶圆的表面出现破口的区域；根据缺陷区域的边界，确定需要覆盖在缺陷区域上的不透光层的边界；不透光层覆盖缺陷区域。本发明实施例通过检测相位移垫层图案中的缺陷区域，并在缺陷区域上覆盖不透光层，实现在通过相位移光罩对晶圆曝光时，在不透光层的作用下，与缺陷区域对应的晶圆表面位置处不再出现破口。