损伤的载物台修复用溶液组合物、损伤的载物台修复方法及损伤的载物台的抗静电涂布方法

摘要

本发明提供损伤的载物台的修复用溶液组合物、损伤的载物台的修复方法及损伤的载物台的抗静电涂布方法，本发明的溶液组合物包含：含有选自醇、甲苯、甲基乙基酮、环己酮中的至少一种的溶剂；具有1nm～500nm的尺寸且含有选自碳黑、科琴黑、乙炔黑、富勒烯、石墨烯和碳纳米管中的至少一种的黑色颜料；分散剂；以及有机系粘合剂和无机系粘合剂混合而成的有机无机混合粘合剂，上述有机系粘合剂为选自多官能性丙烯酸类树脂、多官能性氨基甲酸酯树脂和苯氧系树脂中的至少一种，上述无机系粘合剂为选自氧化铝溶胶、硅溶胶和二氧化钛溶胶中的至少一种。根据本发明，提供低价修复半导体、显示器制作设备的载物台的方法。