公开/公告号CN110648070A
专利类型发明专利
公开/公告日2020-01-03
原文格式PDF
申请/专利权人 精硕科技(北京)股份有限公司;
申请/专利号CN201910918095.8
申请日2019-09-26
分类号G06Q10/06(20120101);G06F16/9535(20190101);
代理机构11646 北京超成律师事务所;
代理人王文红
地址 100000 北京市石景山区实兴大街30号院3号楼9层9014房间
入库时间 2023-12-17 06:30:15
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-02-04
实质审查的生效 IPC(主分类):G06Q10/06 申请日:20190926
实质审查的生效
2020-01-03
公开
公开
机译: 信号质量评估装置,信息读写装置,信号质量评估方法,写入条件确定方法,信号质量评估计算机程序,包含信号质量评估计算机程序的计算机可读存储介质
机译: 信号质量评估装置,信息读写装置,信号质量评估方法,写入条件确定方法,信号质量评估计算机程序,包含信号质量评估计算机程序的计算机可读存储介质
机译: 膜厚评估方法,膜厚评估装置,半导体制造装置,半导体装置以及用于使计算机实现膜厚评估功能的计算机可读存储介质记录程序