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公开/公告号CN110867381A
专利类型发明专利
公开/公告日2020-03-06
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院上海微系统与信息技术研究所;
申请/专利号CN201911081884.7
发明设计人 欧欣;鄢有泉;黄凯;赵晓蒙;李忠旭;陈阳;游天桂;
申请日2019-11-07
分类号
代理机构广州三环专利商标代理有限公司;
代理人郝传鑫
地址 200050 上海市长宁区长宁路865号
入库时间 2023-12-17 06:26:01
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-03-31
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/34 申请日:20191107
实质审查的生效
2020-03-06
公开
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