全口径抛光中抛光盘表面摩擦特性的在线检测装置及方法

摘要

本发明涉及全口径抛光中抛光盘表面摩擦特性的在线检测装置及方法，装置包括：固定部可拆卸于全口径抛光机床的横梁上；竖直驱动部连接于固定部上，且远离全口径抛光机床横梁的一侧，滑动部沿竖直方向上可滑动连接于竖直驱动部上；精密力传感器固定于滑动部上，且位于远离竖直驱动部一侧；滑动部与推力驱动部上部铰接位置为A点，精密力传感器与推力驱动部下部接触位置为B点；推力驱动部输出端连接推杆用于改变推杆的行程；推杆底部与工作板连接，且工作板底面与环抛机抛光盘抵接位置为C点；根据精密力传感器检测的横向摩擦力F，测量A点和B点的距离为X，及A点和C点之间的距离为Y，以A点为旋转轴满足力矩平衡方程：Fx‑Gy＝0，其中G为横向摩擦力。