公开/公告号CN110660633A
专利类型发明专利
公开/公告日2020-01-07
原文格式PDF
申请/专利权人 中科晶源微电子技术(北京)有限公司;
申请/专利号CN201910803331.1
申请日2019-08-28
分类号
代理机构中科专利商标代理有限责任公司;
代理人王益
地址 100176 北京市大兴区经济技术开发区经海四路156号院12号楼5层
入库时间 2023-12-17 06:26:01
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-02-04
实质审查的生效 IPC(主分类):H01J37/147 申请日:20190828
实质审查的生效
2020-01-07
公开
公开
机译: 评估带电粒子束曝光设备成像性能的方法,调整带电粒子束曝光设备的方法,光束扩散测量装置和带电粒子束曝光设备的方法
机译: 带电粒子束设备,以及带电粒子束设备的成像条件调整方法
机译: 带电粒子束设备,以及调整带电粒子束设备中成像条件的方法