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可光刻图案化的石墨烯/天然蛋白质组合物、其制备及图案化方法

摘要

本发明公开了一种可光刻图案化的组合物,所述组合物中包含石墨烯、天然蛋白质和溶剂。该组合物对紫外、可见及近红外波段的光具备光敏感性,将该组合物用于光刻图案化中时,无需引入光引发剂即可完成图案化,且得到的图案分辨率高。本发明还公开了该组合物的制备方法及利用该组合物光刻图案化的方法。

著录项

  • 公开/公告号CN110673440A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2020-01-10

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 中国科学院理化技术研究所;

    申请/专利号CN201910968018.3

  • 发明设计人 段宣明;金峰;郑美玲;董贤子;

    申请日2019-10-12

  • 分类号

  • 代理机构北京正理专利代理有限公司;

  • 代理人邹欢

  • 地址 100190 北京市海淀区中关村东路29号

  • 入库时间 2023-12-17 06:26:01

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2020-02-11

    实质审查的生效 IPC(主分类):G03F7/004 申请日:20191012

    实质审查的生效

  • 2020-01-10

    公开

    公开

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