公开/公告号CN110673440A
专利类型发明专利
公开/公告日2020-01-10
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院理化技术研究所;
申请/专利号CN201910968018.3
申请日2019-10-12
分类号
代理机构北京正理专利代理有限公司;
代理人邹欢
地址 100190 北京市海淀区中关村东路29号
入库时间 2023-12-17 06:26:01
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-02-11
实质审查的生效 IPC(主分类):G03F7/004 申请日:20191012
实质审查的生效
2020-01-10
公开
公开
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