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用于测量多层结构的层之间叠对的技术

摘要

一种用于确定多层结构的层之间叠对的方法,该方法可包含以下步骤:得到代表多层结构的给定影像、得到用于多层结构的层的预期影像、提供多层结构的结合的预期影像为所述层的预期影像的结合、执行给定影像相对于结合的预期影像的配准、及提供给定影像的分割从而产生分割的影像和所述多层结构的层的图像。所述方法可进一步包含以下步骤:通过一起处理多层结构的任何两个选择的层的图像和所述两个选择的层的预期影像来确定所述两个选择的层之间的叠对。

著录项

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2020-02-04

    实质审查的生效 IPC(主分类):G03F7/20 申请日:20160706

    实质审查的生效

  • 2020-01-03

    公开

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