公开/公告号CN110647012A
专利类型发明专利
公开/公告日2020-01-03
原文格式PDF
申请/专利权人 应用材料以色列公司;
申请/专利号CN201910808592.2
申请日2016-07-06
分类号
代理机构北京律诚同业知识产权代理有限公司;
代理人徐金国
地址 以色列雷霍沃特
入库时间 2023-12-17 06:26:01
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-02-04
实质审查的生效 IPC(主分类):G03F7/20 申请日:20160706
实质审查的生效
2020-01-03
公开
公开
机译: 用于测量多层结构层之间的叠加的技术
机译: 多层结构层之间重叠的测量技术
机译: 测量多层结构层之间的覆盖的技术。