法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-03-03
实质审查的生效 IPC(主分类):G01B11/00 申请日:20191122
实质审查的生效
2020-02-07
公开
公开
机译: 具有非球面的试件的干涉测量系统,具有用于形成球面波的折射光学元件,其剩余误差通过校准镜来测量
机译: EUV光刻中使用的镜子的干涉式质量检查系统,其中检查了有限的表面积是否存在非旋转对称误差,以便可以定位旋转对称母体误差
机译: 定位在地球表面上的无线电信号发射器的地理定位系统以及相关的分布式干涉测量方法