一种金刚石生长的在线监控方法及金刚石合成设备

摘要

本发明公开了一种金刚石生长的在线监控方法及金刚石合成设备，一种金刚石生长的在线监控方法，包括以下步骤：S1：启动MPCVD设备合成金刚石；S2：监测装置对生长中的金刚石进行监测数据采集；S3：监测装置将步骤S2中采集到的监测数据发送给控制中心；S4：控制中心将获得的监测数据与预设数据范围对比；若监测数据在预设数据范围之内，MPCVD设备继续工作，金刚石继续生长；若监测数据不在预设数据范围之内，MPCVD设备停止通入碳源，并调整MPCVD设备的工艺参数，进行刻蚀，然后重新通入碳源；S5：重复步骤S2至S4，直至金刚石生长完成。能够对金刚石的生长实时监控。本发明应用于金刚石合成技术领域。