法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-02-04
实质审查的生效 IPC(主分类):G01V3/08 申请日:20190829
实质审查的生效
2020-01-03
公开
公开
机译: 具有催化金属接触和低成本镍微合金的基于纳米Zno的低功耗MEMS传感器及其制备方法
机译: 基于多通道气体传感器阵列的低功耗电路,并用作数字后端的收发器
机译: 用于修改基于MEMS的胶片类型探针的基本膜的表面的MEMS方法以及用于显示检查的基于MEMS的胶片类型的探针的制造方法