一种压电叠堆驱动式常闭微流体阀

摘要

本发明设计一种压电叠堆驱动式微流体阀,包括:桥式微位移放大机构（1）、压电叠堆（2）、阀盖（3）、柔性阀塞（4）和阀座（5），其中：所述桥式微位移放大机构为八边形薄板结构,在薄板转接处的两侧均加工圆弧凹槽；所述桥式微位移放大机构位于下方的水平薄板的中心处粘贴有所述柔性阀塞，两侧竖直薄板之间固定有所述压电叠堆。当压电叠堆未通电时，柔性阀塞阻断流体流经阀体；当压电叠堆通电时，沿水平方向伸长，桥式微位移放大机构沿竖直方向收缩，带动柔性阀塞上移，达到开阀的目的；桥式微位移放大机构将压电叠堆的水平位移放大，提升了阀的流量调节范围，且阀结构简单，易于微型化。