光阻去除装置、清洗液及光阻去除方法

摘要

本申请提供的一种光阻去除装置、清洗液及光阻去除方法，所述光阻去除装置包括容器、第一供给部和第二供给部，所述容器包括容纳腔，所述第一供给部用于向所述容纳腔提供臭氧，所述第二供给部用于向所述容纳腔提供硫酸，所述容纳腔用于容纳所述臭氧和所述硫酸在所述容纳腔中混合形成的清洗液。本申请的光阻去除装置解决了现有技术的清洗液导致的光阻去除的时间及质量受到影响的问题。