一种基于复光束角度自适应光学的平面度三维形貌检测装置及其处理方法

摘要

本发明公开了一种基于复光束角度自适应光学的平面度三维形貌检测装置及其处理方法，该装置主要包括承重台、支架、XY平台、旋转台、倾斜台和复光束角度传感器。本方案的半导体激光器产生的激光束穿过第一滤光板中的针孔，由准直透镜校直之后，在分束器的作用下投射到工件表面；来自工件表面的反射光束完全通过分束器到达微透镜阵列；入射光被微透镜阵列分割成许多小样本，然后聚焦到探测器阵列上；因此，在CMOS相机上会产生许多分离的光焦点，这些焦点的位置与工件的斜度直接相关；利用算法处理从CMOS相机检测到的图像，并确定焦点的位置，最后通过与原始位置的比较来计算斜坡，并从斜坡重建轮廓。