公开/公告号CN110793986A
专利类型发明专利
公开/公告日2020-02-14
原文格式PDF
申请/专利权人 中国电子科技集团公司第十一研究所;
申请/专利号CN201910970747.2
申请日2019-10-14
分类号G01N23/20(20180101);H01L21/66(20060101);
代理机构11010 工业和信息化部电子专利中心;
代理人于金平
地址 100015 北京市朝阳区酒仙桥路4号
入库时间 2023-12-17 06:21:48
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-03-10
实质审查的生效 IPC(主分类):G01N23/20 申请日:20191014
实质审查的生效
2020-02-14
公开
公开
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