痕量气体富集与检测功能相集成的微流控装置及其制备与检测方法

摘要

本发明提供一种痕量气体富集与检测功能相集成的微流控装置，包括：相键合的上层基体和下层基底；所述上层基体中包含微流道网络；微流道网络包括富集流道、检测流道和出口流道；富集流道一端连接流体进口，另一端连接检测流道，检测流道通过出口流道连接流体出口；所述流体进口和流体出口均与外界相通；所述富集流道内壁通过静电吸附附着有用于捕获痕量气体分子的多官能团链接分子。本发明具有结构简单、操作简便、可重复使用、测量精度高等特点。