一种基于复光束角度传感器的微型圆度测量仪及测量方法

摘要

本发明公开了一种基于复光束角度传感器的微型圆度测量仪及测量方法，主要包括复光束角度传感器、夹具、第一承重台、旋转平台、第一XY平台和第二承重台。本发明通过复光束角度传感器发出的激光束扫描并由传感器内部的CMOS相机记录由反射光点阵反映的光束角度变化，以此获得纳米级精度的曲率变化，再利用Fourier变化得到形貌数据，最后用最小二乘法估算圆度。对比其他技术，本方案仅用一个传感器就可以达成仪器误差在测量时不易受其他因素影响的目的。而一个复光束角度传感器的毫米级规格使得它即使在厂级生产中也可以游刃有余。此外，其简易的光路设计可以使所提出的方案在压力、温度和恶劣环境对灵敏度的影响大大降低。