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一种评估CIS产品不同机台白色像素差异的方法

摘要

本发明提供一种评估CIS产品不同机台白色像素差异的方法,将数据库中以往产品的白色像素值进行等级分类并等级系数;按照不同机台在各自工艺步骤下的白色像素平均值对该机台进行相同的等级分类,该平均值对应于数据库中以往产品的白色像素值所属的等级以及等级系数;将新产品用不同工艺的机台进行多个工艺步骤完成整个工艺流程,将该新产品进行每个工艺步骤的机台对应的等级系数相加,得到该新产品的白色像素等级;对新产品进行测试,得到其白色像素值,将该白色像素值与该新产品的白色像素等级进行对应,评估CIS产品不同机台的白色像素差异。本发明可以在计算时间较短的情况下得到大量数据,时效性强并且准确率高,有助于提高产能。

著录项

  • 公开/公告号CN110646426A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2020-01-03

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 上海华力微电子有限公司;

    申请/专利号CN201910897871.0

  • 发明设计人 范洋洋;徐炯;

    申请日2019-09-23

  • 分类号

  • 代理机构上海浦一知识产权代理有限公司;

  • 代理人戴广志

  • 地址 201203 上海市浦东新区自由贸易试验区高斯路568号

  • 入库时间 2023-12-17 06:17:37

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2020-02-04

    实质审查的生效 IPC(主分类):G01N21/84 申请日:20190923

    实质审查的生效

  • 2020-01-03

    公开

    公开

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