法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-04-24
实质审查的生效 IPC(主分类):B08B3/12 申请日:20191127
实质审查的生效
2020-03-31
公开
公开
机译: 超声波振子,超声波清洗喷嘴,超声波清洗装置,基板清洗装置,基板清洗处理系统及超声波清洗喷嘴的制造方法
机译: 超声波清洗单元,超声波清洗装置,超声波清洗方法,半导体装置的制造方法以及液晶显示装置的制造方法
机译: 超声波清洗装置,超声波清洗装置,超声波清洗方法,半导体装置的制造方法以及液晶显示器的制造方法