功率器件及其电阻的仿真方法与功率器件的仿真工具

摘要

本发明涉及一种功率器件电阻的仿真方法，包括建立功率器件的等效电阻模型，其中，N个指条的连接关系等效于N个电阻Rb并联，且相邻电阻Rb的输入端通过电阻Ra连接，相邻电阻Rb的输出端通过电阻Rc连接，Rb＝RDEV*N+RS+RD，其中，R0和R1分别为源极金属条和漏极金属条的电阻，RS为连接一源区至源极金属条的第一中间层的金属电阻，RD为连接一漏区至漏极金属条的第二中间层金属电阻，RDEV为功率器件的沟道电阻；计算等效电阻模型的电阻作为功率器件的电阻。本发明还涉及一种功率器件仿真方法及功率器件仿真工具。本方案得到的寄生电阻精度较高，使得仿真结果更加可靠。