利用飞秒激光在蚕丝薄膜上加工纳米锥阵列的方法及系统

摘要

本发明涉及一种利用飞秒激光在蚕丝薄膜上加工纳米锥阵列的方法及系统，属于飞秒激光应用技术领域。本发明首先通过化学方法制备了蚕丝薄膜，然后将单个飞秒激光脉冲通过显微镜物镜聚焦到蚕丝薄膜表面，通过调控入射到蚕丝薄膜表面的能量通量，得到了直径为200～500nm，高度为17～170nm的纳米锥结构。在飞秒激光脉冲序列辐照下，通过电控平移台连续移动蚕丝薄膜，实现了间距为600nm～1500nm的纳米锥阵列制备。本发明方法基于丝素蛋白对飞秒激光的多光子吸收膨胀效应，实现了在蚕丝薄膜表面加工远小于衍射极限的纳米锥阵列。本发明具有高精度、高灵活性、非接触、无掩膜、可在大气环境中进行的优点，为制备生物光电器件提供了一种可行的方法。