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一种Pebax/MIL-101混合基质膜制备方法

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摘要

本发明设计了一种聚醚嵌段酰胺和MIL‑101混合基质膜制备方法。基于MIL‑101(Cr)。这种金属骨架材料(MOF)和聚醚嵌段酰胺材料Pebax‑1657，通过溶液蒸发法制备出形态均一，具有高CO

1. 一种Pebax/MIL-101混合基质膜制备方法 [P] . 中国专利： CN110787657A . 2020-02-14
2. 一种Pebax/ATP混合基质膜的制备方法 [P] . 中国专利： CN110787658A . 2020-02-14
3. MASK BLANK SUBSTRATE PROCESSING DEVICE, MASK BLANK SUBSTRATE PROCESSING METHOD, MASK BLANK SUBSTRATE FABRICATION METHOD, MASK BLANK FABRICATION METHOD, AND TRANSFER MASK FABRICATION METHOD [P] . 美国专利： US2015370160A1 . 2015-12-24

机译：掩膜基质处理装置，掩膜基质处理方法，掩膜基质制备方法，掩膜制备方法和转移掩膜制备方法
4. MASK BLANK SUBSTRATE PROCESSING DEVICE, MASK BLANK SUBSTRATE PROCESSING METHOD, MASK BLANK SUBSTRATE FABRICATION METHOD, MASK BLANK FABRICATION METHOD, AND TRANSFER MASK FABRICATION METHOD [P] . 韩国专利： KR20150097484A . 2015-08-26

机译：掩膜基质处理装置，掩膜基质处理方法，掩膜基质制备方法，掩膜制备方法和转移掩膜制备方法
5. MASK BLANK SUBSTRATE PROCESSING DEVICE, MASK BLANK SUBSTRATE PROCESSING METHOD, MASK BLANK SUBSTRATE FABRICATION METHOD, MASK BLANK FABRICATION METHOD, AND TRANSFER MASK FABRICATION METHOD [P] . 世界知识产权组织专利： WO2014104009A1 . 2014-07-03

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