一种适用于偏滤器第一壁独立遥操作的盒体开口结构

摘要

本发明公开了一种适用于偏滤器第一壁独立遥操作的盒体开口结构，所述的偏滤器结构由第一壁结构、盒体、盒体支撑结构、冷却水管组成，其偏滤器第一壁结构利用两定位销进行定位和两连接螺钉进行紧固，约束第一壁结构的六个自由度。多功能机械臂从真空室下窗口进入偏滤器盒体底部的开口切割或焊接连接水管，拆除或安装连接螺栓，从真空室中窗口或上窗口利用吊装机械臂整体移出或移入第一壁结构。本发明实现了偏滤器第一壁结构在遥操作过程中的快速的拆除或安装，提高了偏滤器第一壁结构的安装精度，简化了安装步骤，可单独维护第一壁结构，减少了材料的浪费。此结构的发明具有省钱、省时、高效率、高精度的优点。