PSD位置传感器以及三维倾角传感器

摘要

本发明公开了一种PSD位置传感器以及三维倾角传感器，本发明的PSD位置传感器包括一球形的壳体，所述壳体的内表面和/或外表面均匀分布有多个PIN光电二极管形成二维球面的位置敏感检测器。本发明将以往二维平面的PSD位置传感器设置成球形，该PSD位置传感器在测量三维空间方面可发挥更佳的作用。另外，本发明还具体地提供了一种三维倾角传感器，该三维倾角传感器可快速检测出物体三维倾角，且受加速度的影响较小。