一种双波长斐索激光干涉仪标准参考镜

摘要

一种双波长斐索激光干涉仪标准参考镜，涉及光学镜头设计领域，包括：光阑、镜头组分和参考面；干涉仪发出两束不同波长的入射光，通过光阑后，使入射光的口径与镜头组分的口径匹配；镜头组分将入射光会聚在参考面的球心位置。不同于现有商业化产品只工作在一个波长的特点，双波长斐索激光干涉仪标准参考镜同时具有两个工作波长，可以满足4英寸至12英寸不同入射口径菲索激光干涉仪的使用要求，扩展单波长标准参考镜的检测能力。