参数可调式大口径平面光学元件抛光夹具装置

摘要

参数可调式大口径平面光学元件抛光夹具装置，涉及一种抛光夹具装置。设有质量块、夹具平板、上下液压活塞装置、液压输油与回油装置、压力传感器、伺服放大器和工控机；质量块套入夹具平板上表面中心轴，上下液压活塞装置通过隔离板隔开，上下液压活塞装置通过吸附基膜分别吸附在夹具平板下表面和工件上表面，上下液压活塞装置均设液压缸、液压油、活塞、推杆、密封圈、弹簧、输油孔和回油孔，推杆下端通过弹簧与活塞相连，推杆上端连结吸附基模的基体，输油孔和回油孔与液压输油与回油装置的输油孔和回油孔连接，传感器埋入抛光垫内，传感器压力信号输出端经伺服放大器后输入到数据采集卡，数据采集卡安装在工控机上。结构简单且实用。