具有微米或纳米级结构的设备

摘要

一种具有微米或纳米级结构的装置，该结构是机械结构、传感元件、有源和/或无源电路中的一种或多种，所述装置包括含有微米或纳米级结构(13)的元件(1)，以及用于所述元件(1)的支架(2)。所述支架(2)包括凹槽(23)。所述元件(1)至少部分地布置在所述凹槽(23)中。具有导电结构(3)以用于桥接元件(1)与支架(2)之间的间隙(6)。本发明的装置更能抵抗由载体与装置之间的机械连接导致的机械应力。