公开/公告号CN104157557A
专利类型发明专利
公开/公告日2014-11-19
原文格式PDF
申请/专利权人 上海华力微电子有限公司;
申请/专利号CN201410403720.2
申请日2014-08-15
分类号H01L21/265;
代理机构上海思微知识产权代理事务所(普通合伙);
代理人王宏婧
地址 201203 上海市浦东新区张江开发区高斯路568号
入库时间 2023-12-17 03:22:58
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-03-20
发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):H01L21/265 申请公布日:20141119 申请日:20140815
发明专利申请公布后的驳回
2014-12-17
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/265 申请日:20140815
实质审查的生效
2014-11-19
公开
公开
机译: 离子注入器,用于离子注入器的磁体的磁极,用于离子注入器的分析器磁体以及改善离子注入器中电荷中和的方法
机译: 离子注入装置,用于离子注入装置的磁体的极,用于离子注入装置的分析磁体以及改善离子注入装置的电荷碳酸化的方法
机译: 离子注入器,用于离子注入器的磁体的磁极,用于离子注入器的分析器磁体以及改善离子注入器中电荷中和的方法