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一种获得生产线新产品基准产品良率方法

摘要

本发明提出一种获得生产线新产品基准产品良率的方法,通过引入良率筛选,误宰率补偿,缺陷密度修正系数,代入缺陷密度公式,得到缺陷密度修正公式,计算得到生产线的固有缺陷密度,进而能够准确获得生产线上新产品基准产品良率。

著录项

  • 公开/公告号CN102110584B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2012-09-26

    原文格式PDF

  • 申请/专利号CN200910247205.9

  • 发明设计人 梅杰;王立;刘喆秋;

    申请日2009-12-24

  • 分类号H01L21/00(20060101);

  • 代理机构11018 北京德琦知识产权代理有限公司;

  • 代理人牛峥;王丽琴

  • 地址 201203 上海市浦东新区张江路18号

  • 入库时间 2022-08-23 09:11:27

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2012-12-19

    专利权的转移 IPC(主分类):H01L 21/00 变更前: 变更后: 登记生效日:20121116 申请日:20091224

    专利申请权、专利权的转移

  • 2012-09-26

    授权

    授权

  • 2011-08-10

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/00 申请日:20091224

    实质审查的生效

  • 2011-06-29

    公开

    公开

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