单频激光偏振干涉仪在线调试装置及方法

摘要

本发明提供的是单频激光偏振干涉仪在线调试装置及方法。装置包括稳频激光器、光隔离器、偏振态旋转机构，待测单频激光偏振干涉仪，光学透射反射机构、光功率计、多路正交干涉信号探测器、干涉信号采集与分析系统、气浮隔振光学平台。该装置的特征是集高偏振度激光的发生、旋转、测量，以及干涉仪输出的正交干涉信号的特性分析于一体，通过对偏振光学元件的在线性能测试和干涉仪输出光强与干涉信号的幅值、相位畸变的评价，完成集成一体化干涉仪的安装与调试，将单频激光偏振干涉仪光路的固有非线性误差减小到nm量级以下，提高干涉仪的测量精度。本发明结构简单、操作简便，稳定可靠，成本低廉，可实时完成单频偏振激光干涉仪的性能在线评价。