公开/公告号CN101989563B
专利类型发明专利
公开/公告日2012-10-17
原文格式PDF
申请/专利权人 东京毅力科创株式会社;
申请/专利号CN201010236453.6
发明设计人 伊藤毅;
申请日2010-07-22
分类号
代理机构北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙);
代理人刘新宇
地址 日本东京都
入库时间 2022-08-23 09:11:26
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2015-09-09
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 21/683 授权公告日:20121017 终止日期:20140722 申请日:20100722
专利权的终止
2012-10-17
授权
授权
2011-05-04
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/683 申请日:20100722
实质审查的生效
2011-03-23
公开
公开
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