光罩的清洗方法及拆除光罩保护薄膜组件的方法

摘要

一种光罩的清洗方法及拆除光罩保护薄膜组件的方法，其中光罩的清洗方法，包括：对光罩进行第一清洗，所述第一清洗采用的第一清洗剂为超临界流体。本发明还提供一种光罩保护薄膜组件的拆除方法，采用本发明的拆除光罩保护薄膜组件的拆除方法及拆除光罩保护薄膜组件后的光罩清洗方法能将光罩保护薄膜组件与光罩之间的粘着剂去除干净，并且能将拆除光罩保护薄膜组件后的光罩清洗干净。