显示装置等电子装置的制造装置、制造方法及显示装置等的电子装置

摘要

本发明的目的在于发现由于电子装置制造时使用的加热处理装置中的气氛，制造的电子装置叠置材料特性受到坏影响，从而减轻该坏影响。为了实现该目的，利用氧化物钝态膜覆盖加热处理装置的内表面，并且将该内表面的表面粗糙度以中心平均粗糙度Ra设为1μm以下。在这样的加热处理装置中，减轻在固化热固化性树脂时，热固化性树脂的分解、离解引起的热固化性树脂的劣化。