一种集材料与结构吸波功能于一体的新型吸波功能设计

摘要

本发明公开了一种集材料与结构吸波功能于一体的新型吸波功能设计。利用SU-8新型负胶的厚膜特性，将吸波材料与SU-8光刻胶混合、利用微电子技术手段图形化形成周期性结构，然后在显影后的光刻胶结构外的区域根据吸波特性要求选择填充吸波材料，发挥双材料双结构的吸波功能。本发明利用SU-8光刻胶厚膜特性，采用图形化手段发挥材料和结构的双重吸波作用，具有结构可变范围宽，材料选择自由度大的技术特色，便于吸波系统的优化设计，有利于吸波带宽以及效能的提高。