公开/公告号CN103558417A
专利类型发明专利
公开/公告日2014-02-05
原文格式PDF
申请/专利权人 中国工程物理研究院电子工程研究所;
申请/专利号CN201310549735.5
申请日2013-11-08
分类号G01P15/125;G01R27/26;
代理机构中国工程物理研究院专利中心;
代理人翟长明
地址 621900 四川省绵阳市919信箱512分箱
入库时间 2024-02-19 22:10:12
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2016-02-17
发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):G01P15/125 申请公布日:20140205 申请日:20131108
发明专利申请公布后的视为撤回
2014-03-12
实质审查的生效 IPC(主分类):G01P15/125 申请日:20131108
实质审查的生效
2014-02-05
公开
公开
机译: 具有垂直差分感测的集成全硅电容式微型陀螺仪和控制方法以及用于制备具有垂直差分感测的集成全硅电容式微型陀螺仪的过程
机译: sigma-delta电路来补偿电容式微加速度计的电容失配
机译: 弯曲电容式加速度计,差分电容拾取