沉积装置及使用该沉积装置测量沉积材料的剩余量的方法

摘要

本发明提供一种沉积装置及使用该沉积装置测量沉积材料的剩余量的方法。所述沉积装置包括：包括观测窗的处理室、布置在处理室中以在第一方向上与观测窗重叠的坩埚、布置在观测窗与坩埚之间以在第一方向上与观测窗重叠并且关于第一方向旋转的盘片、联接至处理室和盘片以使盘片旋转的旋转单元、布置在盘片与坩埚之间且提供有穿过其自身形成并在第一方向上与观测窗重叠的开口的沉积防止板、以及布置在处理室的外部以在第一方向上与观测窗、盘片和坩埚重叠的测量传感器。该测量传感器检测沉积材料与测量传感器之间的距离，以测量沉积材料的剩余量。