法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2016-06-29
发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):H01L21/205 申请公布日:20131204 申请日:20120203
发明专利申请公布后的视为撤回
2014-02-19
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/205 申请日:20120203
实质审查的生效
2013-12-04
公开
公开
机译: SIO2的气相相表面原位活化
机译: SiO2原位气相表面活化
机译: SiO 2 Sub>的原位气相表面活化