一种NOR闪存器件的退火工艺及NOR闪存器件

摘要

本发明公开了一种NOR闪存器件的退火工艺，该工艺包括在形成阱区的过程中，以变温的方式退火，具体为将温度以从950℃降至750℃，且以较慢优选为2.5℃/Min的速度降低温度。本发明还公开了一种采用该工艺制作的闪存器件。该发明通过单步工艺优化就能大幅度降低NOR闪存器件的静态工作电流，从而大幅度地降低NOR闪存器件的失效率。