法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2015-08-12
发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):G02B5/18 申请公布日:20130417 申请日:20130104
发明专利申请公布后的视为撤回
2013-05-15
实质审查的生效 IPC(主分类):G02B5/18 申请日:20130104
实质审查的生效
2013-04-17
公开
公开
机译: 使用亚波长高对比度光栅的平面,高NA,低损耗透射或反射透镜
机译: 使用亚波长高对比度光栅对平面,高NA,低损耗透镜进行透射或反射
机译: 使用亚波长高对比度光栅进行平面,低损耗的透射或反射透镜