公开/公告号CN103103504A
专利类型发明专利
公开/公告日2013-05-15
原文格式PDF
申请/专利权人 绿阳光电股份有限公司;
申请/专利号CN201210063714.8
申请日2012-03-12
分类号C23C18/12;H01L21/02;H01L31/18;
代理机构北京市浩天知识产权代理事务所;
代理人刘云贵
地址 中国台湾屏东县
入库时间 2024-02-19 18:13:15
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2015-06-17
发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):C23C18/12 申请公布日:20130515 申请日:20120312
发明专利申请公布后的视为撤回
2013-06-12
实质审查的生效 IPC(主分类):C23C18/12 申请日:20120312
实质审查的生效
2013-05-15
公开
公开
机译: 化学浴沉积系统及相关化学浴沉积方法
机译: 废液回收系统,化学浴沉积装置和沉积方法
机译: 废液回收系统,化学浴沉积装置及其沉积方法