公开/公告号CN102883628A
专利类型发明专利
公开/公告日2013-01-16
原文格式PDF
申请/专利权人 豪尼机械制造股份公司;
申请/专利号CN201180024071.X
申请日2011-05-10
分类号A24C5/32;
代理机构中国专利代理(香港)有限公司;
代理人李永波
地址 德国汉堡
入库时间 2024-02-19 17:33:05
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2016-01-06
专利权的视为放弃 IPC(主分类):A24C5/32 放弃生效日:20160106 申请日:20110510
专利权的视为放弃
2013-02-27
实质审查的生效 IPC(主分类):A24C5/32 申请日:20110510
实质审查的生效
2013-01-16
公开
公开
机译: 用于控制衬底温度的装置具有第二部分元件,该第二部分元件具有第二连接表面,在该第二部分元件上,该第二部分元件部分地抵靠在第一部分元件的第一连接表面上
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