法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-12-17
实质审查的生效 IPC(主分类):H01J23/08 申请日:20190723
实质审查的生效
2019-11-22
公开
公开
机译: 用于产生极端UV(EUV)辐射/软X射线辐射的设备具有电子束源,该电子束源的布置方式使电子束被激发以释放等离子体,从而产生EUV和/或X射线辐射的一部分
机译: 一种用于测量图案高度的装置和一种测量图案高度的方法,能够通过在试样表面上辐射电子束来测量图案的高度
机译: 一种用于增强辐射硬化介质的方法,该方法包括使用从X射线,γ射线或电子束中选出的至少一种介质穿过物体和组合物,将组件放置在物体中以对其进行硬化。