公开/公告号CN101598751B
专利类型发明专利
公开/公告日2012-09-05
原文格式PDF
申请/专利权人 优仪半导体设备(深圳)有限公司;
申请/专利号CN200810067630.5
申请日2008-06-03
分类号
代理机构深圳市千纳专利代理有限公司;
代理人胡清方
地址 518000 广东省深圳市南山区科技园长城科技大厦1号楼3楼
入库时间 2022-08-23 09:11:11
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2014-07-30
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G01R 27/02 授权公告日:20120905 终止日期:20130603 申请日:20080603
专利权的终止
2012-09-05
授权
授权
2010-02-03
实质审查的生效
实质审查的生效
2009-12-09
公开
公开
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