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公开/公告号CN102937778A
专利类型发明专利
公开/公告日2013-02-20
原文格式PDF
申请/专利权人 北京理工大学;
申请/专利号CN201210474350.2
发明设计人 李艳秋;魏立冬;
申请日2012-11-20
分类号G03F7/20;G02B27/09;G02B27/42;
代理机构北京理工大学专利中心;
代理人李爱英
地址 100081 北京市海淀区中关村南大街5号
入库时间 2024-02-19 16:40:09
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2015-04-22
授权
2013-03-27
实质审查的生效 IPC(主分类):G03F7/20 申请日:20121120
实质审查的生效
2013-02-20
公开
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