一种新型的具有排气功能的常压等离子体自由基清洗喷枪

摘要

一种新型的具有排气功能的常压等离子体自由基清洗喷枪，本发明是一种新型的具有排气功能的常压等离子体自由基清洗喷枪，包括射频电极、接地电极、射频电源以及排气风扇。其特征在于：喷枪由内壁面和外壁面两层组成，射频电极和接地电极在内壁面内，射频电极被介质阻挡层包裹，常压下，射频电极与接地电极的间隙之间发生放电，产生等离子体，等离子体中的自由基在气流的携带下从喷口喷射出来，与被清洗物体表面有机物发生反应，产生的反应产物可以及时通过排气口排走，防止了反应产物的堆积以及降低了反应产物对放电的影响，提高了处理速率，并且环保。