一种电子级多晶硅工艺管道洁净度控制施工方法

摘要

本发明公开了一种电子级多晶硅工艺管道洁净度控制施工方法，包括以下步骤：一、预制加工；二、管道段组装，且采用内部气体保护装置与氩弧焊焊机完成管道段的组装过程；三、管道段清洗，其过程如下：脱脂清洗、脱脂后水冲洗、络合除锈、漂洗、氨塞冲洗、钝化处理、超纯水冲洗、干燥处理和包封；四、多晶硅工艺管道组装；五、多晶硅工艺管道现场安装；六、工艺管道吹扫、试压及气密性测试。本发明设计合理、操作简便、实现方便且管道洁净度控制效果好，能解决多晶硅工艺管道施工过程中存在的影响管道内部洁净度因素繁多、管道内部洁净度不易控、洁净度控制效果较差等多种问题。