一种基于掺杂金属原子的石墨烯谐振式气体传感器的制备工艺

摘要

本发明属于传感器技术领域，涉及一种石墨烯谐振式气体传感器，尤其涉及一种基于掺杂金属原子的石墨烯谐振式气体传感器及其制备工艺。本发明通过将金属原子镶嵌进石墨烯谐振梁中，过渡金属层可将掺杂的金属原子作为锚点，紧紧的吸附在石墨烯谐振梁的表面，改善了过渡金属层与石墨烯谐振梁的表面接触质量，有效的解决了传统式谐振式气体传感器质量差和敏感性低等问题。