一种MEMS压力传感器装于环形波纹管的接触力传感器

摘要

本发明属于传感器技术领域，尤其为一种MEMS压力传感器装于环形波纹管的接触力传感器，包括上法兰、下法兰和光电解调仪，所述上法兰和下法兰相互靠近的一侧固定安装有同一个大波纹管，大波纹管内设有小波纹管，上法兰和下法兰相互靠近的一侧均与小波纹管固定连接，大波纹管、小波纹管、上法兰和下法兰组成环形腔室，下法兰的底部固定安装有引压管，引压管与环形腔室连通，环形腔室和引压管内设有填充液，引压管上设有密封塞，引压管的底端螺纹安装有传感器封装结构件，传感器封装结构件的顶端固定安装有MEMS光纤F‑P压力传感器。本发明实用性高，具有结构尺寸小，抗干扰能力强，测量精确度高，便于远距离实时检测压力。