一种高精度表面形貌测量机的传感器灵敏度测量方法

摘要

本发明公开了一种高精度表面形貌测量机的传感器灵敏度测量方法，该测量方法利用准直光束经过非球面反射到透镜光路的原理，推导出利用曲率半径计算灵敏度的公式并实现测量传感器的灵敏度。本方案鉴于现有复光束角度传感器灵敏度测量方法出现的步骤繁琐，精确度低，抗干扰能力差等问题，提供一种操作简单，耗时短，抗干扰能力强的传感器灵敏度测量方法对MBAS进行精确测量，使其精度可以达到理论精度，提高形貌光学测量系统的可靠性和精确性。